更新時間：2022-11-15
ALICAT 氣體質(zhì)量流量計20系列，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進行修正。具有 NIST 可溯源校準(zhǔn)證書。可用于快速精確地測量過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。
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ALICAT 氣體質(zhì)量流量計
應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所 ● 泄漏檢測
● 環(huán)境監(jiān)測 ● 真空行業(yè)及鍍膜
● 工業(yè)爐窯 ● 半 導(dǎo) 體
● 汽車制造 ● 光 伏
● 燃料電池 ● 計量校準(zhǔn)
● 過程工藝氣體測量
ALICAT 氣體質(zhì)量流量計
產(chǎn)品特色
● 數(shù)字化產(chǎn)品
● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可選高精度：優(yōu)于0.5%讀數(shù)
● 可測范圍廣，0.01~100%滿量程
● 響應(yīng)時間快，優(yōu)于10 ms
● 內(nèi)置98種氣體
● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，請參考背面
一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM
測量范圍 0.01～100%滿量程
最大顯示流量 128 % 滿量程
顯 示 屏 帶背光燈按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± （0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）精度升級部分見左下角
± （0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）
累計流量精度 流量精度之外增加± 0.5 %讀數(shù)額外誤差
重 復(fù) 性 ± （0.2 %讀數(shù)+0.02 %滿量程）
質(zhì)量流量溫度零點和滿量程漂移 0.02%滿量程/ ℃（從25℃開始）
質(zhì)量流量壓力零點和滿量程漂移 ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）/ Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）
響應(yīng)時間 優(yōu)于10 ms （與流量相關(guān)）
預(yù)熱時間 < 1 s
默認標(biāo)況（STP） 25 ℃&1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）
工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ～ 95%，無冷凝
最大工作壓力 1 MPa 表壓（可選2 MPaG高壓系列）
最di操作壓力 如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPa以上使用；
其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
壓力精度 ± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）
最大進出口壓差 0.5MPa
滿量程壓損 參考詳細壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率；
模擬信號：1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、
DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可選第二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差
供電電壓 9-24 VDC （如選4 - 20 mA或0-10VDC輸出，須為12 - 24VDC）
供電電流 40mA，額外加 40 mA（ 4 - 20 mA或0-10VDC輸出）
電氣接口 DB9M，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 302、303、304、316L不銹鋼、FKM、硅橡膠、環(huán)氧樹脂、聚酰胺、玻璃、硅、金、陶瓷
過程連接 詳情參考壓損表
安裝方式 對位置無要求
防護等級 IP40
認 證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH、CSA （可選）
量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM，
其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指標(biāo)升級：
質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）
重復(fù)性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）
質(zhì)量流量零點漂移 ± 0.01% 滿量程 / ℃（從 25 ℃開始）
± 0.01% 滿量程 / Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）
質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃（從 25 ℃開始）
± 0.1 % 讀數(shù) / Atm（從校準(zhǔn)壓力開始）
選項配件
● 標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點式數(shù)字輸出
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
內(nèi)置30種氣體可選
200:1量程可調(diào)比
NPT接頭
可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保
● 可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數(shù)字信號輸出
RS-485數(shù)字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR, VCO接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標(biāo)定點
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍
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