微粒表面塵埃粒子理化分析儀QIIISM 是一款用于測(cè)量和檢測(cè)機(jī)臺(tái)表面微粒子SPD的精密儀器，它采用目前的技術(shù)來實(shí)現(xiàn)量測(cè)的精確性和機(jī)臺(tái)的穩(wěn)

定性。人的肉眼很難看清直徑在 100um 以下的粒子，這些粒子會(huì)快速沉降，逃

避常規(guī)的空氣檢測(cè)從而聚積在關(guān)鍵表面或產(chǎn)品上，從而減少產(chǎn)品的良率及降低產(chǎn)

品的穩(wěn)定性，QIII SM 表面粒子檢測(cè)器測(cè)量（0.3~10um）的粒子，對(duì)于生產(chǎn)環(huán) 境的控制，提升產(chǎn)品的良率都起到了很大的作用，能夠 幫助企業(yè)更快捷的實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)化管理

BENEFITS • 快速測(cè)量表面顆粒 • 可以幫忙控制機(jī)臺(tái)產(chǎn)品上的顆粒物從而提高產(chǎn)量 • 通過快速識(shí)別粒子源，減少故障排除時(shí)間 • 可以監(jiān)測(cè)物料，來料，以及Parts上的Particle • 減少PM的周期 • 符合 ISO 14644-9表面粒子操作規(guī)范 • 減少粒子相關(guān)故障  QIII SMTM SIDE VIEW 表面塵埃粒子理化分 析儀 0.3-10um 微粒表面塵埃粒子理化分析儀QIII SM orp.c Particle 測(cè)量范圍: 0.3um -10um  • 粒徑通道: 0.3, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0um  • 激光源: 鐳射激光 • 尺寸 & 重量: 30.5cm X 26.7cmX 22.9cm, 8.4 公斤 • 電池:2塊可熱插拔鋰電池 • 顯示: 7" 英寸WVGA觸摸屏 • 數(shù)據(jù)顯示: 顆/平方厘米,顆/平方英寸,顆 • 可智能分析測(cè)試數(shù)據(jù)平均值 • 數(shù)據(jù)輸出: USB,以太網(wǎng), WiFi（選配） • 探頭包含: ?" 英寸直角探頭. • 輸入功率: 100-240 VAC, 50/60 hz • 取樣模式: 靜態(tài)取樣和動(dòng)態(tài)取樣 • CE認(rèn)證 • 語言: 英語, 中文, 日文, 韓文 • 美國(guó)制造